Conuri de fascicul ionic

Conurile SIKAIDA Ion Beam sunt componente de bază ale sistemelor de implantare și transmisie a fasciculului de ioni. Fabricate din materiale ceramice avansate de înaltă puritate și procesate prin turnare prin injecție de precizie și sinterizare la temperatură înaltă, acestea prezintă un conținut extrem de scăzut de impurități, rezistență la temperaturi ridicate și precizie dimensională stabilă. Ele pot fi prelucrate în geometrii complexe pentru a îndeplini cerințele de toleranță extrem de ridicate, făcându-le potrivite pentru procesele de implantare de ioni de semiconductori de înaltă performanță.

În calitate de producător profesionist din China, SIKAIDA oferă conuri de fascicule ionice fiabile, rentabile și personalizabile clienților din întreaga lume în domeniul semiconductorilor, afișajului cu ecran plat, optică, sisteme microelectromecanice (MEMS) și energie solară. SIKAIDA este un furnizor de încredere pe termen lung și o fabrică de producție dedicată pentru componente de proces cu fascicule ionice de ultimă generație.

Materiale și fabricație

1. Materiale

Ion Beam Cones utilizează materiale care includ alumină (Al₂O₃) cu o puritate ≥99,9%, nitrură de siliciu (Si₃N₄) cu o puritate ≥99,5%, oxid de zirconiu (ZrO₂) cu o puritate ≥99,8% și silice topită 9999%. Toate materialele îndeplinesc standardele stricte de puritate ale industriei semiconductoarelor și sunt potrivite pentru cerințele de performanță ale diferitelor aplicații.

2. Procesul de fabricație

Procesul de fabricație include turnarea prin injecție de precizie, sinterizarea la temperatură înaltă, prelucrarea de precizie CNC, lustruirea la nivel de oglindă și curățarea și testarea automată. Fiecare proces este strict controlat pentru precizie și calitate pentru a se asigura că produsul final îndeplinește standardele industriei și cerințele clienților.

Parametri cheie ai produsului

1. Precizie dimensională

Conurile de fascicul ionic au toleranțe controlate în ±0,05 mm, rugozitatea suprafeței Ra≤0,4μm, precizia conicității găurii interne ±0,02 mm, coaxialitate ≤0,03 mm și perpendicularitate ≤0,02 mm. Această precizie dimensională extrem de ridicată asigură în mod eficient precizia transmisiei fasciculului ionic.

2. Tratarea suprafeței

Tratamentele de suprafață includ lustruirea mecanică pentru un finisaj în oglindă, acoperiri întărite UV pentru a îmbunătăți proprietățile suprafeței, acoperiri rezistente la zgârieturi pentru a îmbunătăți rezistența la uzură și decaparea acidă și pasivarea pentru a elimina impuritățile și a îmbunătăți stabilitatea. Metodele de tratament adecvate pot fi selectate în funcție de cerințele aplicației.

3. Indicatori de performanță

Conurile Ion Beam funcționează într-un interval de temperatură de la -196℃ la +800℃, asigurând o funcționare stabilă în medii cu temperaturi extreme. Ele posedă o rezistivitate de volum ≥10¹⁴Ω·cm și o rezistivitate de suprafață ≥10¹²Ω, prezentând proprietăți excelente de izolare. De asemenea, posedă o rezistență remarcabilă la coroziune cu plasmă și chimică, permițându-le să se adapteze la medii de proces complexe.

Avantajele de bază

1. Puritate ultra-înaltă: puritatea materiilor prime depășește 99,9%, reducând la minimum contaminarea plăcilor semiconductoare, asigurând performanța electrică stabilă a dispozitivelor și îndeplinind cerințele stricte de puritate ale producției de semiconductori.

2. Precizie geometrică extrem de ridicată: Asigură dimensiuni consistente ale produsului în timpul producției în masă, cu eroare de conic controlată în ± 0,05 mm și eroare de rotunjime ≤ 0,02 mm, potrivindu-se exact cu cerințele de instalare și utilizare ale sistemelor de transmisie cu fascicule ionice.

3. Calitatea suprafeței asemănătoare oglinzii: rugozitatea suprafeței Ra≤0,4μm, reducând eficient împrăștierea fasciculului ionic, îmbunătățind uniformitatea transmisiei fasciculului ionic și optimizând în continuare precizia de implantare a dispozitivelor semiconductoare.

4. Stabilitate largă de temperatură: funcționează stabil în medii criogenice profunde până la temperaturi ridicate. Materialul are un coeficient de dilatare termică extrem de scăzut, menținând o stabilitate dimensională excelentă chiar și la schimbările de temperatură, prevenind impactul de performanță din cauza fluctuațiilor de temperatură.

5. Izolație excelentă și rezistență la coroziune: previne eficient acumularea de încărcare în timpul transmisiei fasciculului de ioni și rezistă la acizi puternici, alcalii puternici și diferite coroziuni cu plasmă, asigurând o funcționare stabilă pe termen lung în medii de proces complexe.

Servicii personalizate

Modelele și dimensiunile produselor pot fi personalizate în funcție de diferite cerințe ale procesului. Formatele de desen acceptate includ STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF și mostre fizice. În ceea ce privește timpul de livrare, livrarea probelor este de 4-7 săptămâni, iar livrarea lotului de produse este de 8-12 săptămâni. Sistemul nostru de calitate respectă standardele ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH și SEMI, asigurând în mod cuprinzător calitatea produsului și eficiența livrării.

Domenii de aplicare

Conurile cu fascicule de ioni sunt utilizate pe scară largă în mai multe domenii, inclusiv implantatori de ioni în fabricarea semiconductoarelor, echipamente de procesare în afișaje cu ecran plat, sisteme de depunere cu fascicule de ioni (IBD) și de gravare a fasciculului de ioni (IBE) în fabricarea de dispozitive optice, fabricarea de sisteme microelectromecanice (MEMS), echipamente de dopaj ionic pentru celule solare și dispozitive de implantare de ioni pentru procesele cu semiconductori bipolare. (IGBT) și MOSFET-uri de putere.

Întrebări frecvente:

Î1: Ce materiale sunt utilizate în mod obișnuit în conurile fasciculului ionic?

A1: Folosim în primul rând materiale ceramice avansate, cum ar fi alumină de înaltă puritate (Al₂O₃), nitrură de siliciu (Si₃N₄) și oxid de zirconiu (ZrO₂). Aceste materiale au o puritate extrem de ridicată, o rezistență excelentă la temperatură ridicată și proprietăți electrice stabile.

Î2: Poate UET să ofere specificații personalizate și tratamente de suprafață? 

A2: Da. UET poate personaliza dimensiunea, conicitatea, tipul de material și tratamentul suprafeței conurilor în funcție de cerințele procesului dumneavoastră. Avem o experiență vastă în producție și putem îndeplini cerințele specifice de aplicare ale clienților.

Î3: Cum sunt garantate precizia și calitatea conurilor de fascicul ionic?

A3: Adoptăm sistemul de management al calității ISO9001: 2015 și suntem echipați cu echipamente de testare de înaltă precizie, inclusiv o mașină de măsurare în coordonate, tester de rugozitate a suprafeței și spectrometru de fluorescență cu raze X, pentru a ne asigura că fiecare lot de produse îndeplinește standardele industriale stricte.

Î4: Care este ciclul de livrare?

A4: Ciclul de livrare a probei este de 4-7 săptămâni, iar ciclul de livrare a produsului în lot este de 8-12 săptămâni. Ciclul specific depinde de complexitatea produsului și de cantitatea comenzii.